微电子工业水质标准

分割线

	LED(TFT)	256K DRAM	1M DRAM	4M DRAM	16M DRAM	64M DRAM
线宽度(um)	-	1.4~1.8	0.8~1.0	0.4~0.6	0.2~0.3	0.1
电阻率 (MΩ.cm,25℃)	>18.0	>17.5	>18.0	>18.0	>18.1	>18.1
TOC(ppb)	<20	<100	<30	<10	<3	<1
微粒(No./ml)	(0.1μ)<10/ml	(0.2μ)<50/ml	(0.1μ)<10/ml	(0.05μ)<30/ml	(0.03μ)<10/ml	(0.03μ)<5/ml
细菌(CFU/ml)	<1/100	<10/100	<1/100	<5/1000	<5/1000	<5/1000
溶解氧(ppb)	<50	<100	<100	<50	<5	<3
二氧化硅(ppb)	<5	<10	<5	<3	<1	<0.5
硼(ppb)	-	-	<2	0.05	0.05	0.05
钠(ppb)	<0.1	<0.2	<0.1	<0.1	0.05	0.01
钾(ppb)	<0.1	<0.3	<0.1	<0.1	0.05	0.02
锌	<0.05	<0.1	<0.05	<0.05	0.02	0.02
铁	<0.05	</td>	<0.05	<0.05	0.02	0.02
铜	<0.05	</td>	<0.05	<0.05	0.005	0.005
氯化物	<0.1	<0.2	<0.1	0.1	0.02	0.02
溴化物	</td>	<0.1	<0.1	0.05	0.02	0.02
硝酸盐	</td>	<0.1	<0.1	0.05	0.02	0.02
硫酸盐	</td>	0.1	<0.2	0.05	0.05	0.05
不溶残渣	</td>	<0.3	0.1	0.05	0.05	0.05

国外电子制造用超纯水水质标准（英文版，可供参考。）

Memory	256K	1M	4M	16M	64M	256M	1G	4G
Geometry Design Rule(μm)	2	1.2	0.8	0.5	0.35	0.25	0.18	0.13
Product Type	Media Hard Disk Flat Panel	Hard Disk Flat Panel	Hard Disk Hard Disk	Hard Disk Hard Disk 200mm	DRAM Chip 200~ 300mm	Hard Disk 200~ 300mm	(Dev.) Hard Disk 200~ 300mm	(Dev.) DRAM Chip 300mm
Electronics Grade Quality Rating	2	1.2	0.8	0.5	0.35	0.25	0.18	0.13
Resistivty @ 25℃	>17	18.2	18.2	18.2	18.2	18.2	18.2	18.2
TOC(ppb)	<100	<50	<20	<5	<1	<1	<1-＜0.5	<1-＜0.5
Particles-cts/Liter
≥0.05μm	-	-	<500	<500	<500	<500	<500	<500
≥0.10μm	-	<500	<100	<100	<100	<100	<100	<100
Oxygen(ppb)	-	-	<50	<50-<20	<50-<1	<50-<1	<50-<1	<10-<0.5
Bacteria
(CFU/100ml)By oulture	<100	<10	<1	<0.1	<0.1	<0.1	<0.01	<0.01
Dissolved Silica (ppb)	<10	<5	<3	<3	<1	<1-<0.5	<0.3-<0.1	<0.3-<0.1
Ions(ppt) Cations
Na+	<1000	<100	<50	<10	<7	<7	<7	<5
K+	<2000	<100	<100	<20	<10	<10	<10	<10
Ca2+	-	<100	<50	<20	<20	<20	<20	<20
Mg2+	-	<100	<50	<20	<20	<20	<20	<5
Ions(ppt) Anions
F-	-	<100	<100	<100	<30	<30	<30	<30
Cl-	<1000	<100	<100	<20	<20	<20	<20	<10
NO3-	<1000	<100	<50	<20	<20	<20	<20	<10
PO43-	<1000	<100	<50	<20	<20	<20	<20	<10
SO42-	<1000	<100	<100	<50	<50	<50	<50	<30