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GB/T 11446.1—1997 电子级水国家标准

分割线

电子级水 Electronic grade water
  代替 GB 11446.1—89

电子级水的技术指标

指标/级别EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ
电阻率
MΩ.cm(25℃)
18以上(95%时间)
不低于17
15(95%时间)
不低于13
120.5
全硅,最大值,μg/L210501000
>1μm微粒数,最大值,个/mL0.1510500
细菌个数,最大值,个/mL0.010.110100
铜,最大值,μg/L0.212500
锌,最大值,μg/L0.215500
镍,最大值,μg/L0.112500
钠,最大值,μg/L0.5251000
钾,最大值,μg/L0.525500
氯,最大值,μg/L11101000
硝酸根,最大值,μg/L115500
磷酸根,最大值,μg/L115500
硫酸根,最大值,μg/L115500
总有机碳,最大值,μg/L201002001000

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